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真空泵的使用范围
由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同,因此在选用真空泵时必须满足这些要求。表3-1给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值,真空泵厂,以供参用。
表3-1 常用真空泵的工作压强范围及起动压强
真空泵种类 工作压强范围(pa) 起动压强(pa)
活塞式真空泵 1×100000~1.3×100 1×100000
旋片式真空泵 1×100000—6.7×0.1 1×100000
水环式真空泵 1×100000—2.7×1000 1×100000
罗茨真空泵 1.3×1000—1.3 1.3×1000
涡轮分子泵 1.3—1.3×0.00005 1.3
水蒸气喷射泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
油扩散泵 1.3×0.01—1.3×0.0000001 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×0.01 <1.3×100000
分子筛吸附泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
溅射离子泵 1.3×0.001—1.3×0.000000001 6.7×0.1
钛升华泵 1.3×0.01—1.3×0.000000001 1.3×0.01
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×0.00000000001 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×0.00000000001 1.3—1.3×0.1
随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求
常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,真空泵价格,这些泵是我国---各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。
旋片式真空泵机组
旋片真空机组是以泵为主泵,以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机---用的旋片泵作为前级泵,因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点,而且同时保留了罗茨泵能迅速工作,真空泵,有比较大抽气速率等优点。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小,所以可以代替多台机械真空泵,因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。
而立式无油往复泵机组以zj泵为主泵,以wlw型方式无油泵为前级泵串联而成,由于wlw型真空泵采用无油自润滑系统,这样可以获得洁净真空,这样在加装尾气收集装置后,可以收集在高真空系统中无法凝固、无法压缩收集的气体,而又同时避免了水环机组所产生的大量废水的排放而导致污染环境的问题。
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