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真空泵的发展

  真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国---各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

无油真空泵近年来解决了不少科学研究和新材料、半导体行业的技术手段存在的基础、共性问题，国内很多企业也启动了基础、应用研究及小规模的试制无油真空泵的探索，在不同研发阶段上显示了产业结构调整的规划，如在基础技术、激励机制、技术推广、市场开拓规划的调整等，这些举措都为铺展市场做好了基础。

无油涡旋真空泵不仅解决了污染、振动等基础性、共性问题，真空泵，还使系统制造与运行成本降低。在生物制品与半导体行业中，如果应用普通旋片油泵，会产生有油蒸汽污染与工艺系统返油问题，而无油涡旋真空泵就避免了这些问题的出现。为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染，需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子，还要在系统运行中，定期清洗除油，增加了成本运行。因此，无油涡旋真空泵确实具有未来深广的发展前景，是着重商业化的对象。

国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的真空环境，无油真空泵的研发不仅推动了应用产业的整体素质，还为我国其他清洁真空获得设备提供了有效地借鉴，带动了整个真空获得行业的---能力和技术标准。