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真空泵的使用范围
由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同,因此在选用真空泵时必须满足这些要求。表3-1给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值,以供参用。
表3-1 常用真空泵的工作压强范围及起动压强
真空泵种类 工作压强范围(pa) 起动压强(pa)
活塞式真空泵 1×100000~1.3×100 1×100000
旋片式真空泵 1×100000—6.7×0.1 1×100000
水环式真空泵 1×100000—2.7×1000 1×100000
罗茨真空泵 1.3×1000—1.3 1.3×1000
涡轮分子泵 1.3—1.3×0.00005 1.3
水蒸气喷射泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
油扩散泵 1.3×0.01—1.3×0.0000001 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×0.01 <1.3×100000
分子筛吸附泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
溅射离子泵 1.3×0.001—1.3×0.000000001 6.7×0.1
钛升华泵 1.3×0.01—1.3×0.000000001 1.3×0.01
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×0.00000000001 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×0.00000000001 1.3—1.3×0.1
真空泵配件旋片
旋片泵的工作原理:旋片泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。其结构是利用偏心地装在定子腔内的转子(转子的外圆与定子的内表---切两者之间的间隙非常小)和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力紧贴在定子内壁的两块旋片,当转子旋转时,始终沿定子的内壁滑动。
两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成a、b、c三个部分,水环式真空泵,当转子按图示方向旋转时,与吸气口相通的空间a的容积不断地增大,a空间的压强不断的降低,当a空间内的压强低于被抽容器内的压强,根据气体压强平衡的原理,被抽的气体不断地被抽进吸气腔a,此时正处于吸气过程。b腔的空间的容积正逐渐减小,压力不断地增大,旋片真空泵供应商,此时正处于压缩过程。而与排气口相通的空间c的容积进一步地减小,真空泵,c空间的压强进一步的升高,当气体的压---于排气压强时,被压缩的气体推开排气阀,被抽的气体不断地穿过油箱内的油层而排至---中,在泵的连续运转过程中,不断地进行着吸气、压缩、排气过程,从而达到连续抽气的目的。
排气阀浸在油里以防止---流入泵中,油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进入泵腔,使泵腔内所有运动的表面被油覆盖,单旋片真空泵经销商,形成了吸气腔与排气腔的密封,同时油还充满了一切有害空间,以消除它们对---真空的影响。
旋片式真空泵机组
旋片真空机组是以泵为主泵,以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机---用的旋片泵作为前级泵,因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点,而且同时保留了罗茨泵能迅速工作,有比较大抽气速率等优点。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小,所以可以代替多台机械真空泵,因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。
而立式无油往复泵机组以zj泵为主泵,以wlw型方式无油泵为前级泵串联而成,由于wlw型真空泵采用无油自润滑系统,这样可以获得洁净真空,这样在加装尾气收集装置后,可以收集在高真空系统中无法凝固、无法压缩收集的气体,而又同时避免了水环机组所产生的大量废水的排放而导致污染环境的问题。
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